Duke SURF-CAL 尺度標準微粒

NIST溯源尺度標準，用于需要高度視覺反差的尺度標和參考應用領域。SUR-CAL 為各種硅晶片的表面性狀的檢測和標提供了便利的工具。產品的粒徑復合儀器廠家所需的各種規格。SURF-CAL系列產品完符合SEMI行業協會的建立的SSIS標指導準則，微粒粒徑縱貫0.047到3.0微米的范圍，覆蓋了半導體技術藍圖（ITRS）所義的關鍵質控點。通過將SUR-CAL聚苯乙烯乳膠微粒沉積在特的硅晶片（PSL）表面，用戶以對掃描儀進行周期性標，并與其它的掃描儀進行對比。用戶還以對生產環節中關鍵階段SSIS的性能做出評估。產品包裝為50ml，微粒分散于超凈過濾去離子水中，微粒濃度 3 x 108 / ml。PD1100（粒徑1.112 μm）和小于這一粒徑的產品還提供1010 /ml 的產品包裝規格以滿足需要使用差別移動粒子分析儀（DMA）和其它尺寸排除技術粒子分析儀器的客戶需求。

尺度測量方法學：

為了確保與NIST的直接溯源性，產品的粒徑是直接從NIST提供的標準參考微粒通過電子顯微鏡或光學顯微鏡的測量中直接轉化而成的。尺度的不確性是依照NIST技術筆記1297方法（1994年版“NIST測量結果不確性評估指導方案”）計算得到的。產品中所描述的不確性為擴大性不確因素，覆蓋因子數為2 （K=2）。

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